◎CMP / 工程师训练室JUNIOR PROCESS ENGINEER

先学会怎样调查

你是一名新入职的 CMP 工艺工程师。先定义问题、提出暂定假设,再选择调查。看见新证据后可以修改假设,最后设计验证并提交结案。

分数不是职业资格评估。本游戏使用固定分支和规则评分,不用 AI 自动理解笔记。自由笔记供你自行复盘;所有数据为教学模拟,不是 Micron 真实数据或量产操作标准。

调查耗时是模拟成本,不限制你补充证据。结案后展示 8 个维度的评分。猜中原因但没有验证,仍会扣分。

CMP · 化学机械平坦化
通过化学作用和机械研磨让晶圆表面更平坦。
Slurry / Pad / Conditioner
研磨液 / 研磨垫 / 研磨垫修整器。
Removal Rate(RR)/ Uniformity
单位时间去除厚度 / 晶圆不同位置的一致性。比较前先统一单位与计算方法。
Hypothesis / Root Cause
待验证的假设 / 有证据支持的根本原因。两者不能直接画等号。
DOE / SPC / PM
实验设计 / 统计过程控制 / 预防维护。

参考:NIST 控制图 · NIST 全因子试验。案例与数值由训练资料扩展设计。